Fein-verschiebungs-detektionseinrichtung durch schall oder dergleichen

Abstract

Vorrichtung zur Erfassung einer feinen Verschiebung durch Schall oder dergleichen, bei welcher ein Licht aussendendes Element und ein Licht empfangendes Element auf einem Substrat angeordnet sind, Licht von dem Licht aussendenden Element auf eine bei einer dem Substrat zugewandten Position angeordneten Membran aufgestrahlt wird und von der Membran reflektiertes Licht durch das Licht empfangende Element empfangen wird, um eine feine Verschiebung der Membran durch Schall oder dergleichen als ein elektrisches Signal zu erfassen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Licht konzentrierendes Element, welches Licht von dem Licht aussendenden Element konvergiert und dieses auf die Membran lenkt, und ebenfalls von der Membran reflektiertes Licht konvergiert und es zu dem Licht empfangenden Element lenkt, und ein Reflexionslichtstrom Teilerelement, welches das von dem Licht konzentrierenden Element konvergierte reflektierte Licht in eine Mehrzahl von Reflexionslichtströmen unterschiedlicher Richtungen aufteilt und mindestens einen der Mehrzahl von reflektierten Lichtströmen zu dem Licht empfangenden Element lenkt, auf einem Lichtweg zwischen...

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