Apparatus for forming a nano-pattern and method using the same

미세패턴 형성장치 및 이를 이용한 미세패턴 형성방법

Abstract

본 발명은 미세패턴 형성장치 및 이를 이용한 미세패턴 형성방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게 본 발명에 따른 미세패턴 형성장치는 미세패턴이 각인된 스탬프가 설치되며, 상기 스탬프가 설치됨에 따라 상기 스탬프와 제1 공간을 형성하는 제1 챔버;감광막이 도포된 기판이 안착되며, 상기 제1 챔버와 결합됨에 따라 상기 제1 챔버에 설치된 상기 스탬프와 제2 공간을 형성하며, 상기 기판이 안착됨에 따라 상기 기판과 제3 공간을 형성하는 제2 챔버;및 상기 제1 공간과, 상기 제2 공간 및 상기 제3 공간의 압력을 조절하는 압력 조절부;를 구비함으로써, 챔버의 처리공간을 세 공간으로 분할하여, 세 공간의 압력차에 의해 미세패턴을 임프린트 하며, 합착된 기판과 스탬프를 분리하므로, 저가의 설비 투자비용으로 장비 관리의 편의를 도모하며, 기판에 합착된 스탬프를 안전하게 분리하여 원자재 비용의 절감과 생상효율을 증대시킬 수 있는 효과가 있다. 제1 챔버, 제2 챔버, 압력 조절부

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    KR-20050049302-AMay 25, 2005엔엔디 주식회사Imprinting device and substrate holding device thereof
    KR-20060094496-AAugust 29, 2006인텔 코포레이션System and method for vacuum generated imprinting

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